반도체 및 태양전지 산업
고순도 실리콘은 IC, 마이크로프로세서 및 메모리 칩과 같은 마이크로전자 부품 제조를 위한 가장 중요한 원료입니다. Schmitt 펌프는 원료 실리콘 제조 단계부터 사용됩니다. 또한 인발된 단결정 실리콘 단결정으로 웨이퍼를 생산하는 과정의 에칭 및 세정 공정에도 사용됩니다.
마이크로칩의 후속 제조 공정에서 금속화, 현상, 에칭 및 세정에 필요한 일부 부식성 액체도 Schmitt 펌프를 통해 안전하게 이송 및 순환시키고 처리 공정으로 공급합니다.
이때 펌프로 인해 이송 유체가 오염되어서는 안 됩니다. 절대적인 청정도는 공정 안정성에 필수적입니다.
반도체 산업의 또 다른 적용 분야: Schmitt 펌프는 칩 생산 시 발생하는 배기가스를 정화하는 열식 스크러버의 세정액도 이송합니다.
적용 분야 개요
- 고순도 폴리실리콘 제조
- 단결정 웨이퍼 세정 및 식각
- 습식 화학 공정: 현상, 스프레이 에칭, 침지 에칭, 세정
- 사용된 액체를 재처리 공정으로 공급
Schmitt 펌프: 반도체 및 태양전지 산업의 제조 공정을 위한 고순도 솔루션
원심 펌프는 공정 유체를 연속적이고 균일하게 이송하므로 반도체 및 태양광 산업의 습식 화학 설비에서 필수적인 구성 요소입니다. Schmitt Kreiselpumpen 은 고순도, 고부식성 및 민감 유체에 사용하도록 특별히 설계되었으며, 이러한 산업 분야의 높은 요구사항을 충족합니다.
결정적인 장점은 맥동이 적은 균일한 체적 유량입니다. 이는 에칭 공정, 세정 시퀀스 또는 화학적 증착 시 안정적인 공정 조건을 보장합니다. 또한 견고하고 유지보수가 적은 구조는 높은 가용성이 요구되는 설비에서 신뢰성 있는 운전을 보장합니다.
특히 중요한 용도에는 완전 밀폐 방식으로 작동하여 누설 및 오염 위험을 최소화하는 마그네트 구동식 펌프를 사용할 수 있습니다. 또한 씰리스 또는 특수 설계된 펌프 솔루션을 통해 개방형 시스템 및 공정조에서 안전하게 사용할 수 있습니다.
높은 내약품성, 순도 및 적응성을 갖춘 Schmitt Kreiselpumpen 은 초순수 처리부터 습식 화학 공정 단계, 반도체 및 태양전지 생산에서 이송 유체의 연속 순환까지 복잡한 생산 라인에 최적으로 통합할 수 있습니다.
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