صناعة أشباه الموصلات والخلايا الشمسية
يُعد السيليكون عالي النقاء المادة الخام الأهم لتصنيع المكوّنات الميكروإلكترونية، مثل الدوائر المتكاملة ICs والمعالجات الدقيقة وشرائح الذاكرة. تُستخدم مضخات Schmitt هنا منذ مرحلة إنتاج السيليكون الخام. وكذلك في عمليات الحفر والشطف أثناء إنتاج الرقائق من بلورات السيليكون الأحادية المسحوبة أحادية البلورة.
كما تُضخ السوائل اللازمة في مراحل التصنيع اللاحقة للرقائق الدقيقة، والتي يكون بعضها أكّالًا، بأمان بواسطة مضخات Schmitt، وتُدوَّر وتُوجَّه إلى المعالجة؛ وذلك لعمليات الطلاء المعدني والإظهار والحفر والتنظيف.
يجب ألا تتسبب المضخات في أي تلوث لموائع العملية المضخوخة. إذ إن النقاء التام ضروري لاستقرار العملية.
ومن مجالات الاستخدام الأخرى في قطاع صناعة أشباه الموصلات: تضخ مضخات Schmitt هنا أيضًا سائل التنظيف الخاص بغاسلات حرارية تُنقّى بها غازات العادم الناشئة عن إنتاج الرقائق.
نظرة عامة على التطبيقات
- إنتاج البولي سيليكون عالي النقاء
- تنظيف وحفر الرقاقات أحادية البلورة
- العمليات الكيميائية الرطبة: التحميض، الحفر بالرش، الحفر بالغمر، الشطف
- تغذية السوائل المستهلكة إلى المعالجة
مضخات Schmitt: حلول عالية النقاء لعمليات التصنيع في صناعة أشباه الموصلات والخلايا الشمسية
تُعد مضخات الطرد المركزي جزءًا أساسيًا من المنشآت الكيميائية الرطبة في صناعات أشباه الموصلات والطاقة الشمسية، إذ تضخ موائع العملية باستمرار وبانتظام. صُممت Schmitt Kreiselpumpen خصيصًا للاستخدام مع الموائع عالية النقاء والعدوانية والحساسة، وتلبي المتطلبات العالية لهذه الصناعات.
تتمثل ميزة حاسمة في التدفق الحجمي المنتظم منخفض النبضات. ويضمن ذلك ظروف عملية مستقرة، مثل عمليات الحفر الكيميائي وتسلسلات التنظيف أو الترسيب الكيميائي. وفي الوقت نفسه، يضمن التصميم المتين وقليل الصيانة تشغيلًا موثوقًا به في المنشآت ذات متطلبات التوافر العالية.
للتطبيقات الحرجة بشكل خاص، تتوفر مضخات مقترنة مغناطيسيًا تعمل بإحكام تام، مما يقلل خطر التسرب والتلوث. بالإضافة إلى ذلك، تتيح حلول المضخات بدون مانع تسرب للعمود أو المصممة خصيصًا الاستخدام الآمن في الأنظمة المفتوحة وأحواض العمليات.
بفضل مقاومتها الكيميائية العالية ونقائها وقابليتها للتكيف، يمكن دمج Schmitt Kreiselpumpen على نحو أمثل في خطوط الإنتاج المعقدة، بدءًا من معالجة مياه فائقة النقاء مرورًا بخطوات العمليات الكيميائية الرطبة وصولًا إلى التدوير المستمر لموائع العمليات في إنتاج أشباه الموصلات والخلايا الشمسية.
جميع مضخات Schmitt
