Indústria de semicondutores e células solares
O silício de alta pureza é a principal matéria-prima para a fabricação de componentes microeletrônicos, como circuitos integrados, microprocessadores e chips de memória. As bombas SCHMITT já são utilizadas na produção do silício bruto e também nos processos de ataque químico e enxágue durante a fabricação de wafers a partir de monocristais de silício.
Nas etapas seguintes da fabricação dos microchips, as bombas SCHMITT bombeiam, recirculam e encaminham para tratamento, com segurança, os fluidos — alguns deles agressivos — utilizados nos processos de metalização, revelação, ataque químico e limpeza.
As bombas não podem contaminar os fluidos bombeados, pois a pureza absoluta é indispensável à estabilidade do processo.
Outra aplicação na indústria de semicondutores é o bombeamento do líquido de limpeza dos lavadores térmicos utilizados para tratar os gases de exaustão gerados na fabricação de chips.
Visão geral das aplicações
- Produção de polissilício de alta pureza
- Limpeza e ataque químico de wafers monocristalinos
- Processos químicos por via úmida: revelação, ataque químico por aspersão, ataque químico por imersão e enxágue
- Encaminhamento de fluidos consumidos para tratamento
Bombas SCHMITT: soluções de alta pureza para a fabricação de semicondutores e células solares
As bombas centrífugas são componentes essenciais das instalações de processos químicos por via úmida nas indústrias de semicondutores e de células solares, pois bombeiam os fluidos de processo de forma contínua e uniforme. As bombas centrífugas SCHMITT foram desenvolvidas especialmente para fluidos agressivos, sensíveis e de alta pureza e atendem às rigorosas exigências desses setores.
Uma vantagem decisiva é a vazão uniforme e com baixa pulsação. Ela garante condições de processo estáveis, por exemplo, em processos de ataque químico, sequências de limpeza ou deposição química. Ao mesmo tempo, a construção robusta e de baixa manutenção assegura operação confiável em instalações com altas exigências de disponibilidade.
Para aplicações especialmente críticas, estão disponíveis bombas com acoplamento magnético, que são hermeticamente estanques e minimizam o risco de vazamentos e contaminação. Bombas sem vedação ou especialmente configuradas também permitem operação segura em sistemas abertos e banhos de processo.
Graças à elevada resistência química, à pureza e à adaptabilidade, as bombas centrífugas SCHMITT podem ser integradas de forma ideal a linhas de fabricação complexas — do tratamento de água ultrapura e das etapas químicas por via úmida à recirculação contínua dos fluidos de processo na produção de semicondutores e células solares.
Todas as bombas SCHMITT
