Przemysł półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych
Wysokiej czystości krzem jest najważniejszym surowcem do produkcji mikroelektroniki, takiej jak układy scalone, mikroprocesory i chipy pamięci. Pompy SCHMITT są wykorzystywane już na etapie produkcji surowego krzemu. Również w procesach trawienia i płukania podczas produkcji wafli z mono-kryształowego krzemu.
Również agresywne płyny stosowane w dalszych etapach produkcji mikrochipów, niezbędne do metalizacji, wywoływania, trawienia i czyszczenia, są skutecznie transportowane i przetwarzane przez pompy SCHMITT.
Pompy nie mogą zanieczyszczać medium roboczego. Absolutna czystość jest niezbędna dla stabilności procesu.
Kolejnym obszarem zastosowania w przemyśle półprzewodnikowym są pompy SCHMITT, które pompują płyn czyszczący z termicznych zmywarek, używanych do oczyszczania gazów odlotowych powstających podczas produkcji chipów.
Przegląd zastosowań
- Produkcja wysokoczyszczonego polysiliku
- Czyszczenie i trawienie monokrystalicznych wafli
- Procesy chemiczne na mokro: rozwój, natryskiwanie, zanurzenie, płukanie
- Dostarczanie zużytych płynów do oczyszczania
Pompy SCHMITT: rozwiązania o wysokiej czystości do procesów produkcyjnych w przemyśle półprzewodników i ogniw fotowoltaicznych
Pompy odśrodkowe są istotnym elementem mokrych instalacji chemicznych w przemyśle półprzewodnikowym i słonecznym, ponieważ ciągłe i równomierne tłoczenie mediów procesowych jest niezbędne. Pompy odśrodkowe Schmitt są specjalnie zaprojektowane do pracy z ultra czystymi, agresywnymi i wrażliwymi mediami, spełniając wysokie wymagania tych branż.
Decydującą zaletą jest równomierny, niskopulsacyjny przepływ objętości. Zapewnia on stabilne warunki procesu, na przykład podczas procesów trawienia, sekwencji czyszczenia czy chemicznego osadzania. Jednocześnie solidna i nisko wymagająca konserwacji konstrukcja zapewnia niezawodną pracę w instalacjach o wysokich wymaganiach dostępności.
Dla szczególnie krytycznych zastosowań dostępne są pompy z napędem magnetycznym, które działają hermetycznie i w ten sposób minimalizują ryzyko wycieków i kontaminacji. Dodatkowo, pompy bez uszczelnień lub specjalnie zaprojektowane rozwiązania pompowania umożliwiają bezpieczne użycie w otwartych systemach i wanien procesowych.
Dzięki swojej wysokiej odporności chemicznej, czystości i elastyczności, pompy wirnikowe Schmitt można optymalnie integrować w złożonych liniach produkcyjnych – od uzdatniania wody ultrapurej, przez mokre procesy chemiczne, aż po ciągłą cyrkulację mediów procesowych w produkcji półprzewodników i ogniw słonecznych.
Wszystkie pompy SCHMITT
