Yarı iletken ve güneş hücresi endüstrisi

Yüksek saflıkta silisyum, IC’ler, mikroişlemciler ve bellek çipleri gibi mikroelektronik bileşenlerin üretimi için en önemli temel hammaddedir. SCHMITT pompaları burada ham silisyumun üretim aşamasında kullanılmaktadır. Aynı şekilde, çekilmiş monokristalin silisyum tek kristallerinden wafer üretiminde dağlama ve durulama proseslerinde de kullanılır.

Mikroçiplerin sonraki üretim proseslerinde metalizasyon, geliştirme, dağlama ve temizleme için gerekli olan, kısmen agresif sıvılar da SCHMITT pompaları tarafından güvenli şekilde iletilir, sirküle edilir ve arıtma prosesine beslenir.

Bu süreçte pompaların proses akışkanlarında herhangi bir kontaminasyona neden olmaması gerekir. Çünkü mutlak saflık, proses kararlılığı için vazgeçilmezdir.
Yarı iletken endüstrisindeki bir diğer uygulama alanı: SCHMITT pompaları, çip üretimi sırasında oluşan atık gazların temizlendiği termal yıkayıcıların temizleme sıvısını da taşır.

Uygulama genel bakışı

  • Yüksek saflıkta polisilisyum üretimi
  • Monokristalin waferlerin temizlenmesi ve aşındırılması 
  • Yaş kimyasal prosesler: geliştirme, püskürtme ile aşındırma, daldırma ile aşındırma, durulama
  • Kullanılmış sıvıların arıtma işlemine beslenmesi

Schmitt pompaları: Yarı iletken ve güneş hücresi endüstrisindeki üretim prosesleri için yüksek saflık çözümleri

Santrifüj pompalar, proses akışkanlarını sürekli ve homojen şekilde ilettikleri için yarı iletken ve güneş enerjisi endüstrilerindeki yaş kimyasal sistemlerin temel bir bileşenidir. Schmitt santrifüj pompalar, yüksek saflıkta, agresif ve hassas akışkanlarla kullanım için özel olarak tasarlanmıştır ve bu sektörlerin yüksek gereksinimlerini karşılar.

Belirleyici bir avantaj, homojen ve düşük pulsasyonlu hacimsel debidir. Bu, örneğin aşındırma proseslerinde, temizleme sekanslarında veya kimyasal biriktirmede kararlı proses koşulları sağlar. Aynı zamanda sağlam ve düşük bakım gerektiren yapı, yüksek kullanılabilirlik gereksinimlerine sahip sistemlerde güvenilir işletim sağlar.

Özellikle kritik uygulamalar için hermetik sızdırmaz çalışan ve böylece kaçak ile kontaminasyon riskini en aza indiren manyetik tahrikli pompalar mevcuttur. Buna ek olarak, salmastrasız veya özel olarak tasarlanmış pompa çözümleri açık sistemlerde ve proses banyolarında güvenli kullanıma olanak tanır.

Yüksek kimyasal dayanımları, saflıkları ve uyarlanabilirlikleri sayesinde Schmitt santrifüj pompalar, ultra saf su hazırlığından ıslak kimyasal proses adımlarına ve yarı iletken ile güneş hücresi üretiminde proses akışkanlarının sürekli sirkülasyonuna kadar karmaşık üretim hatlarına optimum şekilde entegre edilebilir.

Tüm Schmitt pompaları

Yatay plastik santrifüj pompalar
Paslanmaz çelikten yatay santrifüj pompalar
Plastikten dikey santrifüj pompalar
Standart kimyasal pompalar