Industria dei semiconduttori e delle celle solari
Il silicio ad alta purezza è la materia prima più importante per la produzione di componenti microelettronici, come circuiti integrati, microprocessori e chip di memoria. Le pompe SCHMITT sono utilizzate già nella produzione del silicio grezzo. Anche nei processi di incisione e lavaggio nella produzione di wafer da monocristalli di silicio estratti.
Anche i liquidi, alcuni dei quali aggressivi, necessari nel successivo processo produttivo dei microchip per la metallizzazione, lo sviluppo, l'incisione e la pulizia, vengono pompatati in sicurezza dalle pompe SCHMITT e ricircolati per un trattamento.
Le pompe non devono causare contaminazione dei fluidi. Infatti, una purezza assoluta è essenziale per la stabilità del processo.
Un altro campo di applicazione nel settore dell'industria dei semiconduttori: le pompe SCHMITT trasportano qui anche il liquido di pulizia dei lavaggi termici, con cui vengono purificati i fumi di scarico generati nella produzione di chip.
Panoramica delle applicazioni
- Produzione di polisilicio ultra puro
- Pulizia e incidesione di wafer monocrystallini
- Processi chimici bagnati: sviluppo, etching a spruzzo, etching a immersione, risciacquo
- Conducendo liquidi di scarto per la lavorazione
Pompe Schmitt: soluzioni ad alta purezza per i processi produttivi dell’industria dei semiconduttori e delle celle solari
Le pompe centrifughe sono un componente essenziale degli impianti di chimica umida nell'industria dei semiconduttori e del solare, in quanto garantiscono un'erogazione continua e uniforme dei fluidi di processo. Le pompe centrifughe Schmitt sono specificamente progettate per l'uso con fluidi altamente puri, aggressivi e sensibili, e soddisfano le elevate esigenze di questi settori.
Un vantaggio decisivo è la portata volumetrica uniforme e priva di pulsazioni. Questo garantisce condizioni di processo stabili, ad esempio durante i processi di incisione, le sequenze di pulizia o la deposizione chimica. Allo stesso tempo, la costruzione robusta e a bassa manutenzione assicura un funzionamento affidabile in impianti con elevati requisiti di disponibilità.
Per applicazioni particolarmente critiche sono disponibili pompe a trascinamento magnetico, che operano in modo ermetico, riducendo così il rischio di perdite e contaminazioni. Inoltre, soluzioni di pompe senza tenuta o progettate appositamente consentono un utilizzo sicuro in sistemi aperti e vasche di processo.
Grazie alla loro elevata resistenza chimica, purezza e adattabilità, le pompe centrifughe Schmitt possono essere integrate in modo ottimale in linee di produzione complesse – dalla purificazione dell'acqua ultrapura a fasi di processo chimico umido fino alla gestione continua dei fluidi di processo nella produzione di semiconduttori e celle solari.
Tutte le pompe Schmitt
