Le silicium de très haute pureté est la principale matière première pour la fabrication de composants microélectroniques, tels que les circuits intégrés, les microprocesseurs et les puces mémoire. Les pompes SCHMITT interviennent déjà dans la production du silicium brut. Elles sont également utilisées dans les processus de gravure et de rinçage lors de la production de wafers à partir de monocristaux de silicium monocristallin étirés.

Les liquides parfois agressifs nécessaires aux étapes ultérieures de fabrication des micropuces, notamment pour la métallisation, le développement, la gravure et le nettoyage, sont également transférés, recirculés et acheminés vers un traitement en toute sécurité par les pompes SCHMITT.

Les pompes ne doivent entraîner aucune contamination des fluides pompés. Une pureté absolue est en effet indispensable à la stabilité du processus.
Autre domaine d’application dans l’industrie des semi-conducteurs : les pompes SCHMITT y véhiculent également le liquide de lavage des laveurs thermiques, utilisés pour traiter les gaz résiduaires générés lors de la production de puces.

• Fabrication de polysilicium de haute pureté
• Nettoyage et gravure de wafers monocristallins 

• Procédés par voie humide : développement, gravure par pulvérisation, gravure par immersion, rinçage
• Acheminement de liquides usagés vers le traitement

Les pompes centrifuges sont un élément essentiel des installations chimiques humides dans l’industrie des semi-conducteurs et du solaire, car elles assurent un transfert continu et homogène des fluides de process. Les pompes centrifuges Schmitt sont spécialement conçues pour une utilisation avec des fluides de haute pureté, agressifs et sensibles, et répondent aux exigences élevées de ces secteurs.

Un avantage déterminant est le débit volumique régulier, à faibles pulsations. Celui-ci garantit des conditions de process stables, par exemple lors des procédés de gravure, des séquences de nettoyage ou du dépôt chimique. Parallèlement, la conception robuste et nécessitant peu de maintenance assure un fonctionnement fiable dans les installations soumises à des exigences élevées en matière de disponibilité.

Pour les applications particulièrement critiques, des pompes à entraînement magnétique sont disponibles ; elles fonctionnent de manière hermétiquement étanche et minimisent ainsi le risque de fuites et de contamination. En complément, des solutions de pompage sans garniture ou spécialement conçues permettent une utilisation sûre dans les systèmes ouverts et les bains de process.

Grâce à leur haute résistance chimique, leur pureté et leur capacité d’adaptation, les pompes centrifuges Schmitt s’intègrent de manière optimale dans des lignes de production complexes – du traitement de l’eau ultrapure aux étapes de process par voie humide, jusqu’à la circulation continue de fluides de process dans la production de semi-conducteurs et de cellules solaires.