Çip üretiminde SCHMITT pompalarının kullanımı
Uygulamanın arka planı
Yarı iletken fabrikalarında ultra saf su, asitler, alkaliler, temizleme akışkanları ve proses atıksuları pompalanır. Gereksinimler, sağlam tesis yardımcı devrelerinden son derece hassas, wafer’a yakın proseslere kadar uzanır.
Pompa seçilmeden önce uygulama ve saflık seviyesi açıkça sınırlandırılmalıdır. Wafer açısından kritik proseslerde yalnızca kimyasal dayanım yeterli değildir.
Zorluk
Hassas proseslerde partikül oluşumu, metal iyonları, extractables ve leachables, yüzey durumu ile montaj, temizleme ve kalifikasyon konsepti önemlidir. CMP akışkanları, UPW veya berrak ıslak proses kimyasallarından farklı gereksinimler getirir.
Çözüm
NHM ve MPN; kalifiye edilmiş high-purity, deiyonize su, ultra saf su ve ıslak kimyasal yardımcı prosesler için uygundur. T serisi akışkanla temas eden yatak veya mekanik salmastra olmadan çalışır ve böylece pompalanan akışkanda yatak aşınma parçacıklarını önler.
Daha büyük kimyasal transfer ve tesis yardımcı görevleri için PFA kaplı NEOCHEM CORE sunulur. Wafer açısından kritik UPW, litografi, etch, CMP veya kimyasal dağıtım prosesleri yalnızca proje özelinde kalifiye edilir.
Çip üretiminde SCHMITT pompalarının avantajları
PP, PVDF ve PFA, uygun aşındırıcı, temizleme ve proses sıvıları için.
Dinamik mil geçişi olmadan yüksek sızdırmazlık.
Deiyonize su, ultra saf su ve hassas akışkanlar somut saflık gereksinimlerine göre kalifiye edilir.
Akışkanla temas eden ara yatak veya mekanik salmastra içermeyen cantilever konstrüksiyon.
Kompakt MPN/NHM versiyonlarından PFA kaplı NEOCHEM CORE’a kadar.
İlgili yatay manyetik pompalarda kendini kanıtlamış kayar mil teknolojisi.
Çip ve yarı iletken üretimi için pompalar (seçim)
- Hermetik sızdırmaz, manyetik kaplin, PP veya PVDF
- 95 °C’ye kadar, 42 m³/h’ye kadar debi, 27 m’ye kadar basma yüksekliği
- %76’ya varan verimlilik: enerji verimliliğinde sınıfının en iyisi
- Kayar eksen teknolojisi: aşınmasız, bakım gerektirmez ve uzun ömürlü
- Temassız manyetik tahrik sayesinde hermetik sızdırmaz
- Yüksek basınçlar ve sıcaklık için özel ayırma kovanı geometrisi
- Hermetik sızdırmaz, manyetik kaplinli, PP veya PVDF
- 95 °C’ye kadar, debi 35 m³/h’ye kadar, basma yüksekliği 32 m’ye kadar
- Son derece kendini kanıtlamış pompa, 10.000’den fazla uygulamada kullanımda
- Büyük boyutlandırılmış kaymalı yataklar sayesinde yetersiz yağlamaya ve kısmi kuru çalışmaya karşı duyarsız – geçme mil yok
- Cömert boyutlandırılmış kaymalı yataklar sayesinde normal işletimde pratik olarak bakım gerektirmez
