Uso das bombas Schmitt na fabricação de chips
Contexto da tarefa
As fábricas de semicondutores bombeiam água ultrapura, ácidos, soluções alcalinas, fluidos de limpeza e efluentes de processo. Os requisitos variam desde circuitos robustos de utilidades até processos altamente sensíveis próximos ao wafer.
A aplicação e o nível de pureza devem ser claramente delimitados antes da seleção da bomba. A resistência química, por si só, não é suficiente em processos críticos para o wafer.
Desafio
Em processos sensíveis, são relevantes a geração de partículas, os íons metálicos, as substâncias extraíveis e lixiviáveis, as condições das superfícies e os conceitos de montagem, limpeza e qualificação. Os fluidos de CMP apresentam requisitos diferentes dos de UPW ou de produtos químicos líquidos transparentes.
Solução
NHM e MPN são adequadas para processos auxiliares qualificados de alta pureza, água deionizada, água ultrapura e processos químicos líquidos. A série T opera sem mancais nem selo mecânico em contato com o fluido, evitando assim a abrasão de mancais no fluido bombeado.
Para tarefas de maior porte de transferência de produtos químicos e utilidades, está disponível a NEOCHEM CORE revestida em PFA. Processos críticos para o wafer, como UPW, litografia, ataque químico, CMP ou distribuição de produtos químicos, são qualificados exclusivamente para cada projeto.
Vantagens das bombas Schmitt na fabricação de chips
PP, PVDF e PFA para fluidos adequados de ataque químico, limpeza e processo.
Alta estanqueidade sem passagem dinâmica do eixo.
Água deionizada, água ultrapura e fluidos sensíveis são qualificados de acordo com os requisitos específicos de pureza.
Construção cantilever sem mancais intermediários nem selo mecânico em contato com o fluido.
Desde versões compactas MPN/NHM até a NEOCHEM CORE revestida em PFA.
Tecnologia comprovada de eixos deslizantes nas bombas magnéticas horizontais correspondentes.
Bombas para fabricação de chips e semicondutores (seleção)
- Hermeticamente estanque, com acoplamento magnético, em PP ou PVDF
- Temperatura de até 95 °C, vazão de até 42 m³/h e altura manométrica de até 27 m
- Rendimento de até 76%: referência em eficiência energética
- Tecnologia de mancais deslizantes: sem desgaste, sem manutenção e com longa vida útil
- Hermeticamente estanque graças ao acionamento magnético sem contato
- Geometria especial do copo de separação para altas pressões e temperaturas
MPN
Bombas centrífugas não autoescorvantes
Em PVDF ou PP com acoplamento magnético
- Hermeticamente fechada, com acoplamento magnético, em PP ou PVDF
- Temperatura de até 95 °C, vazão de até 35 m³/h e altura manométrica de até 32 m
- Extremamente comprovada, com dezenas de milhares de unidades em operação
- Pouco sensível à lubrificação insuficiente e ao funcionamento a seco parcial graças aos mancais deslizantes generosamente dimensionados – sem eixo encaixado
- Praticamente isenta de manutenção em operação normal graças aos mancais deslizantes generosamente dimensionados
