استخدام مضخات Schmitt في تصنيع الرقائق
خلفية المهمة
تنقل مصانع أشباه الموصلات مياه فائقة النقاء والأحماض والقلويات ووسائط التنظيف ومياه الصرف الناتجة عن العمليات. وتتراوح المتطلبات من دوائر المرافق المتينة إلى عمليات شديدة الحساسية بالقرب من الرقائق.
يجب تحديد التطبيق ومستوى النقاء بوضوح قبل اختيار المضخة. فالمقاومة الكيميائية وحدها لا تكفي في العمليات الحرجة للرقائق.
التحدي
في العمليات الحساسة، تكون توليد الجسيمات وأيونات المعادن والمواد القابلة للاستخلاص والمواد القابلة للترشح وحالة السطح، وكذلك مفاهيم التركيب والتنظيف والتأهيل، ذات أهمية. تفرض أوساط CMP متطلبات مختلفة عن UPW أو المواد الكيميائية الرطبة الصافية.
حلّ
تُعد NHM وMPN مناسبتين للعمليات الثانوية المؤهلة ذات النقاء العالي، ومياه VE، ومياه فائقة النقاء، والعمليات الكيميائية الرطبة. تعمل T دون محامل أو مانع تسرب ميكانيكي من الأجزاء الملامسة للمائع، مما يمنع تآكل المحامل في مائع العملية المضخوخ.
تتوفر NEOCHEM CORE ببطانة PFA لمهام النقل الكيميائي ومهام المرافق الأكبر. أما عمليات UPW أو الطباعة الحجرية أو الحفر أو CMP أو توصيل المواد الكيميائية ذات الأهمية الحرجة للرقائق، فلا تُؤهَّل إلا وفقًا لمتطلبات المشروع.
مزايا مضخات Schmitt في تصنيع الرقائق
بولي بروبيلين (PP)، فلوريد البولي فينيلدين (PVDF) وبوليمر بيرفلورو ألكوكسي (PFA) لموائع التخليل والتنظيف والعملية المناسبة.
إحكام عالٍ دون مرور ديناميكي للعمود.
تُؤهَّل المياه منزوعة المعادن، والمياه فائقة النقاء، والموائع الحساسة وفقًا لمتطلبات النقاء المحددة.
تصميم كابولي بدون محامل وسيطة ملامسة للمائع أو مانع تسرب ميكانيكي.
من إصدارات MPN-/NHM المدمجة إلى NEOCHEM CORE المبطنة بـ PFA.
تقنية العمود الانزلاقي المثبتة في المضخات المغناطيسية الأفقية المعنية.
مضخات لتصنيع الرقائق وأشباه الموصلات (مختارات)
- محكمة الإغلاق، اقتران مغناطيسي، PP أو PVDF
- حتى 95 °م، معدل التدفق حتى 42 م³/ساعة، ارتفاع الضخ حتى 27 م
- كفاءة تصل إلى 76%: الأفضل في فئتها من حيث كفاءة الطاقة
- تقنية المحور الانزلاقي: خالية من البلى ولا تتطلب صيانة وطويلة العمر التشغيلي
- محكمة الإغلاق بفضل نظام دفع مغناطيسي من دون تلامس
- هندسة خاصة لغلاف الاحتواء لتحمل الضغوط ودرجات الحرارة المرتفعة
- محكمة الإغلاق، اقتران مغناطيسي، PP أو PVDF
- حتى 95 °م، معدل التدفق حتى 35 م³/ساعة، ارتفاع الضخ حتى 32 م
- مضخة أثبتت كفاءتها وتُستخدم في عشرات الآلاف من التطبيقات
- غير حساسة لنقص التشحيم والتشغيل الجاف الجزئي بفضل المحامل الانزلاقية كبيرة الأبعاد، ومن دون محور توصيل
- في ظروف التشغيل العادية، لا تتطلب صيانة عمليًا بفضل المحامل الانزلاقية كبيرة الأبعاد
T
مضخات غاطسة للتركيب داخل الخزان بدون مانع تسرب للعمود
مصنوعة من بولي بروبيلين (PP) أو فلوريد البولي فينيلدين (PVDF)، قادرة على التشغيل الجاف
- قادرة تمامًا على التشغيل الجاف
- لا يحدث تآكل ينتقل إلى مائع العملية المضخوخ، لذا فهي مناسبة جيدًا لتطبيقات عالي النقاء
- تشغيل لا يتطلب صيانة، إذ لا توجد أجزاء قابلة للتآكل مثل المحامل الانزلاقية أو موانع التسرب الميكانيكية
- يمكن ضخ مواد صلبة بحجم جسيمات يصل إلى 3 mm وبنسبة 10 Vol. %
NEOCHEM CORE
مضخات كيميائية موحَّدة وفق المعايير للخدمة الشاقة
مبطنة بـ بوليمر بيرفلورو ألكوكسي (PFA)، مع اقتران مغناطيسي
- محكمة الإغلاق تمامًا وخالية تمامًا من التسرب – اقتران مغناطيسي بدون مانع تسرب للعمود
- تحمي بطانة PFA المدمجة مع غلاف خارجي متين من Armor من التآكل والتلوث
- تصميم صيانة Back-Pull-Out – خدمة سريعة واستبدال حزمة الهيدروليكا/المغناطيس دون تفكيك خط الأنابيب
- مناسب لدرجات حرارة العملية العالية حتى +150°C
