Halbleiter- & Solarzellenindustrie

Hohe Reinheit, sichere Fertigung

Hochreines Silizium ist der wichtigste Grundstoff zur Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen, wie ICs, Mikroprozessoren und Speicherchips. SCHMITT-Pumpen kommen hier schon bei der Herstellung des Rohsiliziums zum Einsatz. Ebenso in Ätz- und Spülprozessen bei der Produktion von Wafern aus gezogenen monokristallinen Silizium-Einkristallen.

Auch die im weiteren Herstellprozess der Mikrochips erforderlichen, zum Teil aggressiven Flüssigkeiten zum Metallisieren, Entwickeln, Ätzen und Reinigen werden von SCHMITT-Pumpen sicher gefördert, umgewälzt und einer Aufbereitung zugeführt.
Dabei darf von den Pumpen keine Kontamination der Fördermedien ausgehen. Denn eine absolute Reinheit ist für die Prozessstabilität einfach unerlässlich.
Ein weiteres Anwendungsgebiet im Bereich der Halbleiterindustrie: SCHMITT-Pumpen fördern hier auch die Reinigungsflüssigkeit von thermischen Wäschern, mit denen bei der Chip-Produktion entstehende Abgase gereinigt werden.

Einige Anwendungsgebiete unserer Kreiselpumpen sind:

• Herstellung von hochreinem Polysilizium
• Reinigung und Ätzen von monokristallinen Wafern
• Nasschemische Prozesse: Entwickeln, Sprühätzen, Tauchätzen, Spülen
• Zuführung verbrauchter Flüssigkeiten zur Aufbereitung

Weil Sicherheit und Reinheit zählen

Hochreines Silizium ist nicht nur das Grundmaterial für Mikrochips. Sondern es ist auch das Ausgangsmaterial für die Herstellung von photovoltaischen Solarzellen. Hier eignen sich SCHMITT-Pumpen hervorragend bei der Erzeugung des Roh-Polysiliziums sowie bei der Produktion von monokristallinen oder polykristallinen Wafern. Denn sie arbeiten in Ätz- und Spülprozessen sicher und verlässlich.

Das gilt auch im gesamten weiteren Herstellprozess der kristallinen Solarzellen. Hier werden von unseren Pumpen aggressive Flüssigkeiten sicher gefördert, umgewälzt und einer Aufbereitung zugeführt. Daher bieten sich unsere Pumpen für das Ätzen, saure oder alkalische Texturieren oder zum Spülen und zum Reinigen an.

Ebenso werden SCHMITT-Pumpen bei der Herstellung von Dünnschichtzellen eingesetzt. Und bei der chemischen Badabscheidung. Nicht zuletzt fördern sie bei vielen unserer Kunden auch die Reinigungsflüssigkeit von thermischen Wäschern, mit denen bei der Produktion von Dünnschichtzellen entstehende Abgase gereinigt werden.

Wichtig: Von SCHMITT-Pumpen geht mit Sicherheit keine Kontamination der Fördermedien aus. – Damit ist eine hohe Reinheit und die erstklassige Qualität der hergestellten Solarzellen von unserer Seite stets gewährleistet.

Einige Anwendungsgebiete unserer Kreiselpumpen sind:

• Nasschemische Behandlungen wie Beizen, Ätzen, Spülen etc.
• Waferproduktion
• Halbleiter- Leiterplattentechnik
• Reinraumtechnik
• Solarzellenfertigung