半导体及太阳能电池行业
高纯硅是制造微电子元件（如集成电路、微处理器和存储芯片）的最重要基础材料。SCHMITT 泵已应用于原硅的生产过程。同样也用于由拉制单晶硅晶体生产晶圆时的蚀刻和冲洗工艺。
在微芯片后续制造过程中所需的用于金属化、显影、蚀刻和清洗的部分腐蚀性液体，也由 SCHMITT 泵进行安全输送、循环，并送入处理工序。
泵不得对工艺流体造成任何污染。因为绝对纯净对于工艺稳定性至关重要。
在半导体行业的另一个应用领域：SCHMITT 泵还用于输送热式洗涤器的清洗液，这些洗涤器用于净化芯片生产过程中产生的废气。
Anwendungsübersicht
- Herstellung von hochreinem Polysilizium
- Reinigung und Ätzen von monokristallinen Wafern
- Nasschemische Prozesse: Entwickeln, Sprühätzen, Tauchätzen, Spülen
- Zuführung verbrauchter Flüssigkeiten zur Aufbereitung
Schmitt-Pumpen: High-Purity-Lösungen für Fertigungsprozesse in der Halbleiter- und Solarzellenindustrie
Kreiselpumpen sind ein wesentlicher Bestandteil nasschemischer Anlagen in der Halbleiter- und Solarindustrie, da sie Prozessmedien kontinuierlich und gleichmäßig fördern. Schmitt Kreiselpumpen sind speziell für den Einsatz mit hochreinen, aggressiven und sensiblen Medien konzipiert und erfüllen die hohen Anforderungen dieser Branchen.
Ein entscheidender Vorteil ist der gleichmäßige, pulsationsarme Volumenstrom. Dieser gewährleistet stabile Prozessbedingungen, etwa bei Ätzprozessen, Reinigungssequenzen oder der chemischen Abscheidung. Gleichzeitig sorgt die robuste und wartungsarme Bauweise für einen zuverlässigen Betrieb in Anlagen mit hohen Verfügbarkeitsanforderungen.
Für besonders kritische Anwendungen stehen magnetgekuppelte Pumpen zur Verfügung, die hermetisch dicht arbeiten und somit das Risiko von Leckagen und Kontamination minimieren. Ergänzend ermöglichen dichtungslose oder speziell ausgelegte Pumpenlösungen den sicheren Einsatz in offenen Systemen und Prozessbädern.
Durch ihre hohe chemische Beständigkeit, Reinheit und Anpassungsfähigkeit lassen sich Schmitt Kreiselpumpen optimal in komplexe Fertigungslinien integrieren – von der Reinstwasseraufbereitung über nasschemische Prozessschritte bis hin zur kontinuierlichen Kreislaufführung von Prozessmedien in der Halbleiter- und Solarzellenproduktion.
所有 Schmitt 泵
