El silicio de alta pureza es la materia prima más importante para la fabricación de componentes microelectrónicos, como ICs, microprocesadores y chips de memoria. Las bombas SCHMITT son utilizadas aquí ya en la fabricación del silicio bruto. También en procesos de grabado y lavado en la producción de obleas a partir de cristales de silicio monocristalino extraídos.

Asimismo, los líquidos agresivos requeridos en el proceso de fabricación de microchips para la metalización, el desarrollo, el grabado y la limpieza son bombeados, circulados y tratados de manera segura por las bombas SCHMITT.

En este caso, las bombas no deben causar contaminación de los fluidos de proceso. Porque una pureza absoluta es simplemente indispensable para la estabilidad del proceso.
Otro campo de aplicación en la industria de los semiconductores: las bombas SCHMITT también transportan aquí el líquido de limpieza de los lavadores térmicos, que se utilizan para limpiar los gases de escape generados durante la producción de chips.

• Fabricación de polisilicio de alta pureza
• Limpieza y grabado de wafers monocristalinos 

• Procesos químicos en estado líquido: Desarrollo, grabado por pulverización, grabado por inmersión, enjuague
• Suministro de líquidos usados para el tratamiento

Las bombas centrífugas son un componente esencial de las instalaciones de química húmeda en la industria de semiconductores y solar, ya que permiten bombear fluidos de proceso de manera continua y uniforme. Las bombas centrífugas Schmitt están especialmente diseñadas para su uso con medios de alta pureza, agresivos y sensibles, cumpliendo con los altos requisitos de estas industrias.

Una ventaja clave es el caudal volumétrico uniforme y con bajo pulso. Esto garantiza condiciones de proceso estables, por ejemplo, en procesos de grabado, secuencias de limpieza o en la deposición química. Al mismo tiempo, la construcción robusta y de bajo mantenimiento asegura un funcionamiento confiable en instalaciones con altos requisitos de disponibilidad.

Para aplicaciones especialmente críticas, están disponibles bombas de acoplamiento magnético, que funcionan de manera hermética y, por lo tanto, minimizan el riesgo de fugas y contaminación. Además, las soluciones de bombas sin sellos o diseñadas específicamente permiten un uso seguro en sistemas abiertos y baños de proceso.

Gracias a su alta resistencia química, pureza y adaptabilidad, las bombas centrífugas de Schmitt se integran de manera óptima en líneas de fabricación complejas: desde el tratamiento de agua ultrapura hasta los pasos de proceso químico húmedo y la circulación continua de fluidos de proceso en la producción de semiconductores y células solares.