Hochreines Silizium ist der wichtigste Grundstoff zur Herstellung von mikroelektronischen Bauelementen, wie ICs, Mikroprozessoren und Speicherchips. SCHMITT-Pumpen kommen hier schon bei der Herstellung des Rohsiliziums zum Einsatz. Ebenso in Ätz- und Spülprozessen bei der Produktion von Wafern aus gezogenen monokristallinen Silizium-Einkristallen.

Auch die im weiteren Herstellprozess der Mikrochips erforderlichen, zum Teil aggressiven Flüssigkeiten zum Metallisieren, Entwickeln, Ätzen und Reinigen werden von SCHMITT-Pumpen sicher gefördert, umgewälzt und einer Aufbereitung zugeführt.

Dabei darf von den Pumpen keine Kontamination der Fördermedien ausgehen. Denn eine absolute Reinheit ist für die Prozessstabilität einfach unerlässlich.
Ein weiteres Anwendungsgebiet im Bereich der Halbleiterindustrie: SCHMITT-Pumpen fördern hier auch die Reinigungsflüssigkeit von thermischen Wäschern, mit denen bei der Chip-Produktion entstehende Abgase gereinigt werden.

• Herstellung von hochreinem Polysilizium
• Reinigung und Ätzen von monokristallinen Wafern 

• Nasschemische Prozesse: Entwickeln, Sprühätzen, Tauchätzen, Spülen
• Zuführung verbrauchter Flüssigkeiten zur Aufbereitung

Kreiselpumpen sind ein wesentlicher Bestandteil nasschemischer Anlagen in der Halbleiter- und Solarindustrie, da sie Prozessmedien kontinuierlich und gleichmäßig fördern. Schmitt Kreiselpumpen sind speziell für den Einsatz mit hochreinen, aggressiven und sensiblen Medien konzipiert und erfüllen die hohen Anforderungen dieser Branchen.

Ein entscheidender Vorteil ist der gleichmäßige, pulsationsarme Volumenstrom. Dieser gewährleistet stabile Prozessbedingungen, etwa bei Ätzprozessen, Reinigungssequenzen oder der chemischen Abscheidung. Gleichzeitig sorgt die robuste und wartungsarme Bauweise für einen zuverlässigen Betrieb in Anlagen mit hohen Verfügbarkeitsanforderungen.

Für besonders kritische Anwendungen stehen magnetgekuppelte Pumpen zur Verfügung, die hermetisch dicht arbeiten und somit das Risiko von Leckagen und Kontamination minimieren. Ergänzend ermöglichen dichtungslose oder speziell ausgelegte Pumpenlösungen den sicheren Einsatz in offenen Systemen und Prozessbädern.

Durch ihre hohe chemische Beständigkeit, Reinheit und Anpassungsfähigkeit lassen sich Schmitt Kreiselpumpen optimal in komplexe Fertigungslinien integrieren – von der Reinstwasseraufbereitung über nasschemische Prozessschritte bis hin zur kontinuierlichen Kreislaufführung von Prozessmedien in der Halbleiter- und Solarzellenproduktion.