Uso de bombas centrífugas Schmitt en la fabricación de chips
Contexto de la aplicación
En la fabricación de chips se manejan líquidos muy diversos, como agua ultrapura (UPW), soluciones de grabado, productos químicos de limpieza y baños de proceso. Estos medios deben transportarse por las instalaciones de forma controlada, limpia y fiable, a menudo en entornos de sala limpia y con requisitos muy estrictos de pureza y estanqueidad.
La fabricación de chips distingue claramente entre procesos críticos para obleas y procesos cercanos a las instalaciones auxiliares. Según el área de aplicación, son decisivas las bombas herméticamente estancas de acoplamiento magnético, las bombas robustas con cierre mecánico, una alta resistencia química, una baja liberación de partículas y un funcionamiento fiable 24/7.
Desafío
La producción de chips impone exigencias especialmente altas a las bombas: muchos medios son muy agresivos químicamente, incluso las partículas más pequeñas o la abrasión metálica pueden dañar las obleas, los sistemas absolutamente estancos son imprescindibles y la estabilidad de temperatura y presión debe garantizarse durante todo el proceso. Dado que muchas líneas funcionan en régimen 24/7, las paradas resultan costosas y deben evitarse.
Solución
Las bombas centrífugas Schmitt ofrecen soluciones adecuadas tanto para áreas críticas para obleas como para procesos auxiliares. Las bombas de acoplamiento magnético son apropiadas para procesos sensibles como circuitos de UPW, medios de grabado y limpieza, procesos de enjuague y químicos, así como pasos húmedo-químicos en entornos de litografía, grabado o CMP. Las bombas con cierre mecánico se utilizan en sistemas auxiliares, aguas residuales, neutralización, control de temperatura y agua de refrigeración. Materiales de alta calidad, conceptos de cojinete de bajo desgaste y superficies lisas en contacto con el medio favorecen la pureza, la fiabilidad y un funcionamiento continuo rentable.
Ventajas de las bombas Schmitt en la fabricación de chips
PVDF, PP y acero inoxidable cubren medios agresivos de grabado y limpieza, así como agua de proceso.
Los modelos de acoplamiento magnético son ideales para procesos de alta pureza sin tolerancia a fugas ni partículas.
Acoplamiento magnético para procesos cercanos a las obleas; cierre mecánico para áreas auxiliares, aguas residuales o aplicaciones de alta temperatura.
La tecnología de cojinetes de bajo desgaste y las superficies interiores lisas ayudan a mantener alta la pureza del medio.
Las bombas de plástico hasta aprox. 95 °C y las de acero inoxidable claramente por encima de 100 °C cubren distintos pasos de proceso.
La construcción robusta reduce las paradas y aumenta la disponibilidad de la instalación en funcionamiento continuo.
Si se requiere un repuesto, el suministro puede realizarse con especial rapidez.
Los altos rendimientos reducen los costes operativos en entornos de producción 24/7.
Para UPW y productos químicos críticos están disponibles versiones de plástico especialmente puras.
Los certificados de materiales y resistencia química apoyan entornos de fabricación auditados y cualificados.
Bombas para fabricación de chips y semiconductores (selección)
Herméticamente cerrada, acoplamiento magnético, PP o PVDF
Hasta 95 °C, caudal de hasta 42 m³/h, altura de impulsión de hasta 27 m
Hasta un 76 % de rendimiento: eficiencia energética best-in-class
Tecnología de eje deslizante: sin desgaste, sin mantenimiento y duradera
Herméticamente cerrada mediante accionamiento magnético sin contacto
Geometría especial del vaso separador para presiones y temperaturas elevadas
MPN
Bombas centrífugas de aspiración normal
de PVDF o PP con acoplamiento magnético
Herméticamente cerrada, acoplamiento magnético, PP o PVDF
Hasta 95 °C, caudal de hasta 35 m³/h, altura de impulsión de hasta 32 m
Bomba extremadamente probada, instalada miles de veces
Insensible a la lubricación insuficiente y a la marcha en seco parcial gracias a cojinetes deslizantes sobredimensionados, sin eje insertado
Prácticamente sin mantenimiento en funcionamiento normal gracias a cojinetes deslizantes de generosas dimensiones
Bombas Schmitt
Horizontale Kreiselpumpen aus Kunststoff
Horizontale Kreiselpumpen aus Edelstahl
